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產品分類SEMI-2500
SEMI-2500

2D和3D技術的完美結合

超景深融合技術
超景深3D技術
副相機巡檢高精度倍率

  • 高效率，高精度
    主副相機協同工作，兼顧全檢項目效率以及高精度巡檢項目需求
  • 視覺系統
    0.5um精度光柵尺+高速度直線電機運動模塊，視覺系統XYZ方向運動
  • 運動穩定可靠
    高精度大理石工作平臺保證絕對運動時精度穩定可靠
  • 同步工作模式
    檢測機夾爪+推桿同步工作模式，支持最窄板邊距2.5mm
  • AI分割算法
    支持應用AI分割算法處理灰度對比度較小的金球魚尾等特征，輔助計算
  • 系統
    ISO Class 4 10000級EFU空氣凈化系統，離子風系統

超景深圖像整合系統，矩子采用高速，高精度的運動系統連續飛拍，并輔以業界頂尖的GPU硬件及自主算法進行圖像高速融合。

矩子采用超景深3D高度恢復系統，減少高反光的出現，并且不受景深的影響。

視覺系統巡檢副相機：具備超高的光學放大倍率 (> 10x APO ) 及圖像分辨率，能夠觀察更微觀的缺陷特征

產品目錄
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